Contenuti
Laboratori
PVD
Physical Vapour Deposition
(Thin Films)
La camera di deposizione misura 700×700×800 mm3 e la pressione base è di 5×10-7 mbar, 4 catodi magnetron sputtering (AJA-STXL 4.9”×12”) in configurazione closed-field con sorgenti DC o pulsato DC da 3kW. Il porta-campioni può ruotare su due assi ed essere polarizzato RF e DC. Un cannone ionico GENCOA-IM è montato su un lato della sorgente magnetron e la distanza e l’angolo rispetto al porta-campioni può essere regolata.
La camera di deposizione misura 700×700×800 mm3 e la pressione base è di 5×10-7 mbar, 4 catodi magnetron sputtering (AJA-STXL 4.9”×12”) in configurazione closed-field con sorgenti DC o pulsato DC da 3kW. Il porta-campioni può ruotare su due assi ed essere polarizzato RF e DC. Un cannone ionico GENCOA-IM è montato su un lato della sorgente magnetron e la distanza e l’angolo rispetto al porta-campioni può essere regolata.
Linea di lavaggio
(Novatec)
Linea costituita da: un bagno per cleaning, un lavaggio in acqua, un lavaggio in acqua deionizzata e un asciugatore ad aria calda.
Linea costituita da: un bagno per cleaning, un lavaggio in acqua, un lavaggio in acqua deionizzata e un asciugatore ad aria calda.